THK DD Stage Type DKR

電動アクチュエータ 位置決めステージ テーエチケー

THK DDステージDKR形

THK㈱

THK

ロ
ボ
ッ
ト
・

F
A

機
器

e-87

ダイレクトドライブXYメカニズム

DDステージDKR形

¡

ダイレクトドライブ機構
トップテーブルをボールねじで直接駆動し高加減速・高
減衰・高精度を同時に実現
1000mm/secの最高速度、2Gの最高加減速瞬時減衰
±0.002mmの繰り返し位置決め精度
0.02/500mmの位置決め精度

¡

トーション同期機構

¡

四辺耐重支持構造
トップテーブルにかかる負荷を４辺枠で支え、耐久性、
耐荷重性を大幅にup

¡

KRガイドビーム構造
KRガイドを用いたビーム構造で薄形軽量、高剛性を確保

１．ダイレクトドライブメカニズム

従来のXYテーブルでは図１のようにボールねじの位置
と、トップテーブルの位置との間に距離「Ｌ」が存在し
加減速時には、曲げモーメント「Ｍ」が生じ、たわみ

「S

1

」が発生します。これに対しDKR形は図２のように

ビームの周囲に４辺枠を配置することによって、トップ
テーブルをボールねじで直接駆動しています。この機構
により、駆動点と作用点は一致し、２点間の距離「Ｌ」
は０となる為、曲げモーメント「Ｍ」が０となりたわみ

「S

1

」も０となります。

Ｍ =曲げモーメント
Ｗ =負荷慣性力
Ｌ =トップテーブルと
    負荷間の距離
Ｓ

1

=曲げモーメント

    によるたわみ

M=W×L

図１ 従来のXYテーブル

図2 DKR形XYステージ

DKR形の基本構造

トーション同期無し

トーション同期有り

■DKR形の基本仕様

DKR型番

ストローク

（mm）

最大搭載質量

（kg）

最高速度（mm/ｓ）

33□−0202
33□−0303
33□−0404
46□−0404
46□−0505
46□−0606
55□−0606
55□−0707
55□−0808
65□−0808
65□−0909
65□−1010

200× 200
300× 300
400× 400
400× 400
500× 500
600× 600
600× 600
700× 700
800× 800
800× 800
900× 900

1000×1000

10

20

25

30

500

1000

800

Ｈ=800 P=1000

750

Ｈ=800 Ｐ=1000

800
500

繰返し位置決め精度（mm）

Ｈ級

Ｐ級

位置決め精度（mm/500mm）

Ｈ級

Ｐ級

±0.005

±0.005

±0.005

±0.008

±0.008

±0.002

±0.002

±0.003

±0.003

0.08

0.10

0.10

0.10

0.10

0.02

0.02

0.02

0.02

付  属

１．各軸フォトセンサ

（原点１，オーバートラベル２個）

２．ケーブルベア

Ｍ =曲げモーメント
Ｗ =負荷慣性力
Ｌ =駆動点，作用点間の距離
Ｓ

1

=曲げモーメントによるたわみ

M=W×L

トーション効果

M

(S

1

)

T

(S

2

)

T =ねじりモーメント
S

2

=ねじりモーメントによるたわみ

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