q-131
空
圧
・
油
圧
・
真
空
機
器
CKD 薬液用電磁弁
CKD!
CKD Chemical Solution Solenoid Valves
CKD
■薬液用エアオペレートバルブAMD 形・AMD2・AMD3・AMD4・AMD5形
Z
0
純水・酸・アルカリ等多種の流体を制御する薬液用オペレートバルブです。特にダイヤフラム弁
構造と成形ボディの採用により、一段とパーティクルの発生要因をなくしました。
流体温度
℃
使用流体
最高使用圧力
MPa
オリフィス
（Cv値）
接続方法
価格
シーケーディー 半導体用 テフロンバルブ ソレノイドバルブ ケミカルバルブ
形番
5∼80
純水
薬液
N
2
ガス
空気
（A→B）0.5
（B→A）0.3
2（0.12）
Rc
!/8
30,000
AMDZ※-6-2
2（0.08）
外径φ3チューブ
36,500
AMDZ※-3US-2
外径
!/8
”チューブ
36,500
AMDZ※-6BUS-2
4（0.32）
!/8
34,670
AMD0※-6-4
外径φ6チューブ
43,670
AMD0※-6US-4
外径
!/4
”
チューブ
43,670
AMD0※-8BUS-4
5∼60
（A→B）0.5
8（1.25）
Rc
#/8
41,550
AMD2※-10-8
外径φ10チューブ
49,830
AMD2※-10US-8
外径
#/8
”
チューブ
49,830
AMD2※-10BUS-8
外径φ10チューブ
48,830
AMD2※-10UF-8
外径
#/8
”
チューブ
48,830
AMD2※-10BUF-8
外径φ10チューブ
48,830
AMD2※-10UA-8
外径
#/8
”
チューブ
48,830
AMD2※-10BUA-8
12（2.5）
Rc
!/2
46,830
AMD3※-15-12
10（1.8）
外径φ12チューブ
56,170
AMD3※-12US-10
外径
!/2
”
チューブ
56,170
AMD3※-15BUS-10
外径φ12チューブ
54,170
AMD3※-12UF-10
外径φ
!/2
” チューブ
54,170
AMD3※-15BUF-10
外径φ12チューブ
54,170
AMD3※-12UA-10
外径
!/2
”
チューブ
54,170
AMD3※-15BUA-10
（A→B）0.4
20（0.8）
Rc
#/4
64,000
AMD4※-20-20
16（5.2）
外径
#/4
”
チューブ
81,830
AMD4※-20BUS-16
外径
#/4
”
チューブ
79,000
AMD4※-20BUF-16
外径
#/4
”
チューブ
79,000
AMD4※-20BUA-16
■薬液用マニュアルバルブMMD形
PFA成形ボディを採用し金属部の影響をなくしたダイヤフラム方式手動弁です。純水、化学薬品
等、腐食性流体を制御でき、バイパス用、流量調整バルブ用としても利用頂けます。
流体温度
℃
使用流体
使用圧力範囲
MPa
オリフィス
（Cv値）
接続方法
価格
形番
5∼60
純水
薬液
N
2
ガス
空気
0∼0.5
8（1.25）
Rc
!/8
51,830
MMD20-10-8
外径φ10チューブ
60,000
MMD20-10US-8
外径
#/8
”
チューブ
60,000
MMD20-10BUS-8
外径φ10チューブ
59,000
MMD20-10UF-8
外径
#/8
”
チューブ
59,000
MMD20-10BUF-8
外径φ10チューブ
59,000
MMD20-10UA-8
外径
#/8
”
チューブ
59,000
MMD20-10BUA-8
12（2.5）
Rc
!/2
56,330
MMD30-15-12
10（1.8）
外径φ12チューブ
66,000
MMD30-12US-10
外径
!/2
”
チューブ
66,000
MMD30-15BUS-10
外径φ12チューブ
64,000
MMD30-12UF-10
外径
!/2
”
チューブ
64,000
MMD30-15BUF-10
外径φ12チューブ
64,000
MMD30-12UA-10
外径
!/2
”
チューブ
64,000
MMD30-15BUA-10
0∼0.4
20（8.0）
Rc
#/4
76,500
MMD40-20-20
16（5.2）
外径
#/4
”
チューブ
97,830
MMD40-20BUS-16
外径
#/4
”
チューブ
94,830
MMD40-20BUF-16
外径
#/4
”
チューブ
94,830
MMD40-20BUA-16
AMD01シリーズ
AMD31シリーズ
注１）※印は動作区分を表します。
１：NC、２：NO、３：複動です
注２）形番のU、BUはファインフィッティ
ング。US、BUSはF20形、UA・BUA
はF20形の継手付を表します。
■薬液用２
・
３ポート電磁弁MY ２形
B
G
流体温
度℃
使用
流体
使用圧力範囲
MPa（正圧）
オリフィス
（Cv値）
接続方法
Rc
動作方式
価格
形番
5∼60
薬液
純水
IN正圧0∼0.2
OUT正圧0∼0.1
φ3相当
（0.18）
!/8
直動式
11,330
2ポート弁
MYB2-6
16,000
3ポート弁
MYG2-6
■薬液用直動式電磁弁EMBシリーズ
流体温
度℃
使用
流体
電力
W
使用圧力
範囲MPa
オリフィス
（Cv値）
接続方法
Rc
動作方式
価格
形番
5∼80
薬液
5.4
0∼3
3
（0.18）
!/4
直動通電
時開形
21,670
EMB21-8-5
21,670
EMB21-8-5-D
5∼60
薬液
11
0∼2.5
6（0.68）
#/8
直動式
39,170
EMB41-10-3
0∼2
8（0.83）
39,170
EMB41-10-5
0∼2
8（0.83）
テフロンチューブ
搭載
（φ10×φ8）
39,170
EMB41-10U-5
16
0∼1.5
10（2.05）
#/8
48,830
EMB51-10-3
0∼1.2
12（2.7）
!/2
48,830
EMB51-15-4
0∼0.5
15（3.6）
48,830
EMB51-15-5
MMD40シリーズ
MMD30シリーズ
MYBシリーズ
EMBシリーズ
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