THK Precision XY Stages
THK 精密XYステージ
THK㈱
209431
精密XYステージ
¡高精度
精密XYステージAX形は精密研削された断面高さの低い
SR形を使用し、多重拘束構造による高精度案内が得ら
れます。
¡長精度寿命
案内部は信頼性にすぐれたLMガイドを使用し、長期間、
精度寿命が得られます。また送りねじは精密ボールね
じを使用し、あそびのない正確な位置決め送りのでき
るステージです。
¡ビルトアップタイプ
従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく一軸
ステージの組み合せでストロークが自由に選択可能と
なります。
¡用途に合わせてステージ精度の選択可能
リニアスケールの取付が容易にできる構造です。
一軸ステージ
XYステージ
■AX形一軸ステージ仕様・精度
■AX形XYステージ仕様・精度
形 番
A05
A10
A15
A20
A25
A30
A40
A50
ストローク
（㎜）
50
100
150
200
250
300
400
500
搭載荷重
Ｎ（㎏）
300
（30）
1000
（100）
2500
（250）
ステージ
総質量
（㎏）
10
12.5
14.5
40.0
42.0
45.0
145.0
155.0
精度等級
P6
P5
P4
P6
P5
P4
P6
P5
P4
繰返し位置
決め精度
（㎜）
±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001
位置決め精度
全ストローク
（㎜）
0.025
0.015
0.006
0.030
0.020
0.008
0.050
0.025
0.013
バックラッシュ
（㎜）
0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002
走り真直度Ａ
上下・左右
（㎜）
0.008
0.004
0.002
0.010
0.005
0.003
0.015
0.007
0.004
平行度Ａ
（㎜）
0.015
0.007
0.003
0.020
0.010
0.005
0.030
0.015
0.007
モータ分解能：ステッピングモータ：500p/ｒ
（フルステップ）、1000p/ｒ
（ハーフステップ）、ACサーボモータ：1000p/ｒ、2000p/ｒ、4000p/ｒ
形 番
AX0505
AX0510
AX0515
AX1010
AX1015
AX1515
AX2020
AX2025
AX2030
AX2525
AX2530
AX3030
AX4040
AX4050
AX5050
ストローク
（㎜）
50× 50
50×100
50×150
100×100
100×150
150×150
200×200
200×250
200×300
250×250
250×300
300×300
400×400
400×500
500×500
搭載荷重
Ｎ（㎏）
150
（15）
500
（50）
1000
（100）
ステージ
総質量
（㎏）
17.5
20.0
22.0
22.5
24.5
26.5
71.5
73.5
76.5
75.5
78.5
81.5
257
267
277
精度等級
P6
P5
P4
P6
P5
P4
P6
P5
P4
繰返し位置
決め精度
（㎜）
±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001
位置決め精度
全ストローク
（㎜）
0.030
0.015
0.007
0.040
0.020
0.010
0.060
0.030
0.015
バックラッシュ
（㎜）
0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002
走り真直度Ａ
上下・左右
（㎜）
0.010
0.005
0.003
0.025
0.007
0.004
0.040
0.010
0.005
平行度Ａ
（㎜）
0.025
0.012
0.006
0.030
0.015
0.007
0.050
0.025
0.012
直角度Ａ
（㎜）
0.010
0.005
0.003
0.020
0.010
0.005
0.030
0.015
0.007
e-202
空
圧
・
油
圧
・
真
空
直
動
シ
ス
テ
ム
・
関
連
ロ
ボ
ッ
ト
・
Ｆ
Ａ
制
御
・
検
出
・
計
測
駆
動
・
回
転
軸
受
・
素
材
・
機
械
動
力
伝
達
・
伝
動
搬
送
・
運
搬
ポ
ン
プ
・
送
風
機
・
粉
体
工
場
設
備
・
環
境
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