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小型真空ポンプ
ULVAC Compact Vacuum Pumps
433812
アルバック機工
空
圧
・
油
圧
・
真
空
直
動
シ
ス
テ
ム
・
関
連
ロ
ボ
ッ
ト
・
Ｆ
Ａ
制
御
・
検
出
・
計
測
駆
動
・
回
転
軸
受
・
素
材
・
機
械
動
力
伝
達
・
伝
動
搬
送
・
運
搬
ポ
ン
プ
・
送
風
機
・
粉
体
工
場
設
備
・
環
境
ピストンリングに特殊樹脂を使
用し、シリンダー内でピストン
が往復運動することによって真
空排気する真空ポンプです。
加圧専用タイプ、減圧・加圧両
用タイプもあります。
大気圧に近い圧力帯での用途で
も使用可能。
真空チャック、自動機の加圧源
DOP-9D
DOP-80S
DOP-300SA
DOP-420S
注1）吸気管の表記は、外径×内径（メネジサイズ）またはフランジサイズ。
2）ステータスマークの見方：
：サーマルプロテクタ付
：アンローダバルブ付
：アンローダバルブオプション
：組み込み仕様あり
：ガスバラストバルブ付
：耐食型
：ワイドレンジモーター
質量
kg
機 能
最大寸法（W×L×H）
吸気管
電源
V
到達圧力
Pa
排気速度
L/min
周波数
Hz
価 格
型 式
2.8
126.0×170.0×110.0
8.0×5.0
（R1/8）
1φ100V
6.7×10
3
9.0
50
79,400
DOP-9D
9.8
60
7.0
160.0×270.0×179.0
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
1.2×10
3
40
50
107,100
DOP-40D
44
60
7.0
160.0×270.0×179.0
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
5.4×10
3
80
50
110,700
DOP-80S
88
60
9.0
160.0×288.0×181.0
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
（0.5MPa）
80
50
115,600
DOP-80SP
84
60
■揺動ピストン型ドライ真空ポンプDOP/DTPシリーズ仕様および価格
■揺動ピストン型ドライ真空ポンプDOPシリーズ仕様および価格
注1）吸気管の表記は、外径×内径（メネジサイズ）またはフランジサイズ。
2）（ ）内の値は加圧可能な真空ポンプで加圧した時のゲージ圧力、DOP-80SPは加圧専用。
3）ステータスマークの見方は下記にてご確認願います。
質量
kg
機 能
最大寸法（W×L×H）
吸気管
電源
V
到達圧力
Pa
排気速度
L/min
周波数
Hz
価 格
型 式
20.0
大排気量
タイプ
315.0×443.0×231.0
16.0×12.0
（R1/2）
3φ200V
8.0×10
3
300
50
235,900
DOP-300SA
330
60
33.0
大排気量
タイプ
310.0×523.0×253.0
26.0×20.0
（R3/4）
3φ200V
17.3k
420
50
352,700
DOP-420S
460
60
注２）
注１）
注３）
注１）
注２）
２極モータの採用により、一段
と小型軽量化を実現し、種々の
機構を完備しています。
油の逆流防止機構、ガスバラス
トバルブ、強制給油方式、過電
流保護回路を装備し、可搬式又
は卓上式装置への組込みに最適
な低振動、低騒音型の直結型油
回転真空ポンプです。
GHD-030
質量
kg
機 能
最大寸法（W×L×H）
吸気管
電源
V
到達圧力
Pa
排気速度
L/min
周波数
Hz
価 格
型 式
16.0
132.0×367.0×217.0
KF-25
1φ100V
6.7×10
−2
6.7（GV開）
120
50
144,400
GHD-030
144
60
■直結型油回転真空ポンプGHDシリーズ
（高速回転コンパクトタイプ）
仕様および価格
注１）吸気管の表記は、外径×内径またはフランジサイズ。ステータスマークの見方は上記にてご確認願います。
注２）DIS、DVS、DVTシリーズの排気速度は設計排気速度です。
注１）
注１）
マワンター、ハンドラー、ボンダー
印刷機等、各種FA機器の真空源
に最適です。
エアーエジェクターと比較して
最大66％の消費電力を削減。
回転翼型真空ポンプと比較し
て温度上昇量が低減。
独自の技術で低振動を実現。
回転翼型真空ポンプと比較し
て低騒音。