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小型真空ポンプ
ULVAC Compact Vacuum Pumps
433812
アルバック機工
空
圧
・
油
圧
・
真
空
直
動
シ
ス
テ
ム
・
関
連
ロ
ボ
ッ
ト
・
Ｆ
Ａ
制
御
・
検
出
・
計
測
駆
動
・
回
転
軸
受
・
素
材
・
機
械
動
力
伝
達
・
伝
動
搬
送
・
運
搬
ポ
ン
プ
・
送
風
機
・
粉
体
工
場
設
備
・
環
境
■ダイヤフラム型ドライ真空ポンプDAPシリーズ仕様および価格
ゴムの薄膜（ダイヤフラム）の往
復運動を利用して真空排気を行
う真空ポンプです。
すべての機種にサーマルプロテ
クターを内蔵し、安全面も考慮。
装置の組入用として多くの用途
で使われています。
吸着搬送 吸着固定、真空ピ
ンセット
分析機器 半導体検査装置
DAP-6D
DAP-12S
質量
kg
機 能
最大寸法（W×L×H）
吸気管
電源
V
到達圧力
Pa
排気速度
L/min
周波数
Hz
価 格
型 式
1.8
75.0×156.0×100.6
R1/8メネジ
1φ100V
6.65×10
3
6
50
28,300
DAP-6D
7
60
1.8
75.0×156.0×100.6
R1/8メネジ
1φ100V
24.0×10
3
12
50
29,500
DAP-12S
14
60
質量
kg
機 能
最大寸法（W×L×H）
吸気管
電源
V
到達圧力
Pa
排気速度
L/min
周波数
Hz
価 格
型 式
3.9
125.0×203.0×182.0
9.0×5.0
1φ100V
6.65×10
3
12
50
72,200
DA-15D
15
60
3.9
125.0×203.0×182.0
9.0×5.0
1φ100V
26.6×10
3
24
50
74,600
DA-30S
30
60
7.2
118.0×236.0×184.0
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
5.3×10
3
20
50
92,690
DA-20D
24
60
7.2
128.0×236.0×184.0
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
19.9×10
3
40
50
96,300
DA-40S
46
60
11.0
212.0×278.0×224.5
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
6.7×10
3
30
50
98,700
DA-30D
36
60
11.0
212.0×278.0×224.5
9.0×5.0
（R1/4）
1φ100V
21.3×10
3
60
50
102,300
DA-60S
72
60
10.0
157.0×336.5×217.0
9.0×6.0
（G1/4）
1φ100V
3.3×10
3
40
50
124,000
DA-41D
46
60
10.3
181.0×336.5×217.0
12.0×8.0
（G1/4）
1φ100V
13.3×10
3
75
50
127,600
DA-81S
85
60
19.0
156.0×347.0×238.0
14.0×9.0
（G3/8）
1φ100V
3.32×10
3
60
50
189,000
DA-60D
72
60
19.0
162.0×347.0×238.0
14.0×9.0
（G3/8）
1φ100V
13.3×10
3
120
50
192,600
DA-120S
144
60
26.0
193.5×411.0×285.0
16.0×12.0
（G1/2）
1φ100V
3.3×10
3
120
50
245,600
DA-121D
145
60
26.0
193.5×411.0×285.0
16.0×12.0
（G1/2）
1φ100V
16.0×10
3
240
50
249,200
DA-241S
260
60
11.0
150.0×232.0×305.0
12.0×8.0
（R1/4）
1φ100V
3.3×10
3
50
50
150,500
DAT-50D
55
60
11.0
150.0×232.0×305.0
12.0×8.0
（R1/4）
1φ100V
13.3×10
3
100
50
154,100
DAT-100S
110
60
37.0
388.0×523.6×274.0
21.0×15.0
（G1/2）
3φ200V
3.3×10
3
180
50
357,500
DAL-181D
210
60
37.0
388.0×523.6×274.0
21.0×15.0
（G1/2）
3φ200V
17.3×10
3
360
50
361,100
DAL-361S
390
60
DA-30S
DA-20D
DAL-181D
■ダイヤフラム型ドライ真空ポンプDA/DAT/DALシリーズ仕様および価格
注1）吸気管の表記は、外径×内径（メネジサイズ）またはフランジサイズ。
注2）ステータスマークの見方：
：サーマルプロテクタ付
：アンローダバルブ付
：アンローダバルブオプション
：組み込み仕様あり
：ガスバラストバルブ付
：耐食型
：ワイドレンジモーター
注１）
注２）
注１）
注２）
DA-60S