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真空用機器の選定方法
How to select Vacuum equipment
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用 語
内 容
真空エジェクタ
ディフューザ入り口中心にノズルから高速ジェットを吹き込み、混合により他の流体をディフューザ中に引
き込み真空を発生させる真空ポンプ。
真空ポンプ
真空回路の空気を大気中に排出し回路内を真空にする機器。
エジェクタ式真空発生器
ノズル、ディフューザの構成からなる真空発生器。
流量多段形真空エジェクタ
複数のディフューザを直列に組合せ、吸込流量を大きくした真空エジェクタ。
リングブロー式真空発生器
2個のノズルから構成され、そのノズル間の隙間からエアを供給する形態の真空発生器。
（粒体、粉体、繊維などの小さく不定形のワークを空気で搬送させる用途に使用）
ノズル径
真空エジェクタの円形ノズル最小断面積部の直径。
供給圧力
真空エジェクタの供給口に加える空気の圧力。
定格圧力
定められた条件の下で性能を保証でき又、設計及び使用上の基準となる圧力。
到達真空度
ある供給圧力において、真空エジェクタの吸込み口を閉じた時に発生する最大の真空圧力。
大気圧換算到達真空度
到達真空度（ゲージ圧）は、測定時の気圧により数値に相違が発生することから、到達真空度を補正した数値。
（大気圧換算値）
｛
kPa｝=（ゲージ圧）
｛
kPa｝× 1013｛hPa｝／（測定時気圧）
｛
hPa｝
吸込流量
真空エジェクタが吸込む空気の流量。
空気消費流量
真空エジェクタが消費する圧縮空気の流量。
真空特性
ノズル径、到達真空度、吸込流量、消費流量などの真空性能を示した真空パラメータ。
空気消費流量特性
真空エジェクタの供給圧力と空気消費流量の関係を表す特性。
最大吸込流量特性
真空エジェクタの供給圧力と最大の吸込流量の関係を表す特性。
到達真空圧力特性
真空エジェクタの供給圧力と到達真空圧力の関係を表す特性。
吸込流量−真空圧力特性
ある供給圧力における真空エジェクタの吸込流量と真空圧力の関係を表す特性。
真空破壊圧力
真空回路に圧縮空気を供給し、真空破壊する時の供給圧力。
真空破壊流量
真空破壊状態を発生させるために必要な空気流量。
破壊流量調整弁
破壊エアの流量を調整する絞り弁。
リリーフ圧力調整弁
真空破壊エアの流量制御に対し、真空破壊における圧力を調整、制御する機構。
大気圧破壊弁
真空を遮断させた時、大気圧を導入させる弁。
真空発生用バルブ
真空エジェクタへ圧縮空気を供給するバルブ。
真空破壊用バルブ
真空回路に圧縮空気を供給し、真空破壊をするバルブ。
エアタイマ式真空破壊バルブ
真空破壊用電磁弁の代わりにタイマシリンダのスピードコントローラなどの機械式に真空破壊吐出時間を調
整するバルブ。基本的には、真空発生用バルブの真空発生が遮断された直後から真空破壊エアは吐出され、
破壊時間調整ニードルでその吐出時間を調整する。
真空到達時間
真空エジェクタに空気を供給してから、ある真空回路容積内が設定した真空圧力に到達するまでの時間。
応答時間
真空発生用、真空破壊用バルブに通電、または遮断させてから真空ポート側圧力が基準圧力に変化するまで
の時間。
吸着パッド
吸着を行う主にゴムなどの弾性体のカップ又は皿状の吸着部と吸着部を保持しポートを持つ本体（取り付け金
具）からなる機器。吸着部には薄形、深形、じゃばら形、長円形などの形状もある。
吸着プレート
吸着を行う主に溝のついた金属板や多孔質体の剛性のある平面又は曲面板状の機器。変形しやすい吸着物に
用いる。
吊上げ
吸着パッドや吸着プレートで吸着物を持ち上げること。
垂直吊り
吸着パッドの吸着面を垂直にした吊り方。吸着面にせん断力を生じる。
水平吊り
吸着パッドの吸着面を水平にした吊り方。
バッファ
主にスプリングなどで吸着パッドの押しつけ時の位置の変動を吸収し、衝撃を緩和する機構。
首振り形吸着パッド
吸着部と本体の間に揺動リンクを持つ吸着パッド。
パッド径
円形の吸着パッドにおいて真空圧力が生じていない時の被吸着物との接触円の直径。
有効パッド径
円形の吸着パッドにおいて真空圧力が生じ変形している時の、実際の被吸着物との接触円の直径。
吸着面積
吸着パッドにおいてパッド径から計算される理論的に真空圧力が作用する吸着面の面積。
有効吸着面積
吸着パッドにおいて真空圧力を生じ変形している時の、実際に真空圧力が作用する被吸着物との接触部の面
積。吊上げ力を真空圧力で割った値に等しい。
吊上げ力
吸着パッドや吸着プレートで実際に持ち上げることができる荷重。
理論吊上げ力
吸着パッドの吸着面積と真空圧力の積で、理論的に持ち上げることのできる荷重。
真空エジェクタユニット
真空エジェクタとその周辺機器からなる基本構成部分。真空エジェクタ、真空発生用バルブ、真空破壊用バ
ルブ、真空用圧力スイッチ、真空用フィルタなどの組合せからなる。
サイレンサ（消音器）
排気ポートから排出されるエアの騒音を低減させる機器。
真空用圧力計
真空圧力を計測・表示する計器。
真空用フィルタ
真空ポンプを塵芥・汚染から保護するため、真空ポンプと吸着パッドなどの大気へ通じる機器との間に取り
付けるフィルタ。
真空用レギュレータ
真空源と真空回路の間に取り付け、真空回路側の圧力を一定に制御する圧力制御弁。
真空用圧力スイッチ
真空圧力で電気接点（回路）を開閉する機器。真空吸着の状態を確認する場合などに用いる。
真空機器の用語一覧