r-93
フィードバックスケール
Feed Back Scales
SONYP
ソニー・プレシジョン・テクノロジー !
制
御
・
検
出
・
計
測
機
器
分解能0.14nm（ナノメートル）
・原点付小型レーザスケール
¡
光学検出方式
¡
小型高精度フィードバックスケール
¡
高精度な内挿回路により内挿誤差0.1μm以下
¡
分解能：0.1μm
¡
測定長：70∼1240A（20機種）
¡
スケールに異常発生時アラーム出力
¡
A/B相ラインドライバ出力および原点出力
¡
主な用途：取付スペースに制約のあるNC機械、計測機器
に最適
フィードバックスケールSH11形
高精度フィードバックスケール
■フィードバックスケールSH11形仕様
SH11-
型 名
C1B3
C1B2
C1A3
C1A2
670/720/770/820/
920/1020/1140/1240
70/120/170/220/270/320/
370/420/470/520/570/620
670/720/770/820/
920/1020/1140/1240
70/120/170/220/270/320/
370/420/470/520/570/620
測定長（A）
0.1μm
分解能
0.3μs
0.16μs
最小位相差時間
16μm
刻線ピッチ
（3＋3L/1000）μm
（2＋2L/1000）μm
（3＋3L/1000）μm
（2＋2L/1000）μm
制度（20℃ にて）
12m/min
24m/min
最大応答速度
赤外LED
光源
フォトダイオード
受光素子
有効長内2点（測定長70Aは中央1点）
原点
0.01∼0.2m/min
原点検出速度の範囲
IP53相当（保護等級の改善については取扱説明書をご覧ください。）
保護等級
（8.8±1）×10
−6
/℃
温度係数
68.6m/S
2
（30∼1000Hz、30分）
耐振動性
147m/S
2
（11ms、X、Y、Z各方向3回）
耐衝撃性
DC5V±5％
電源
約250mA
消費電力
¡
光波干渉計を超える信号波長0.1379μmの高分解能スケール
¡
湿度・気温・空気の乱れに影響を受けない高安定性
¡
原点部には新設計の光学系を採用
原点付小型形状：従来体積比1/2
¡
原点精度：±0.1μm。真空、非磁性対応
¡
精度±0.04μm以下（有効長40A）
¡
有効長40∼420A、9種類（-R/-RS）
¡
有効長10∼420A、10種類（-N/-NS）
¡
完全非接触原理的に戻り誤差が発生しません
レーザスケールBS78形
■レーザスケールBS78形仕様
BS78
型 名
Rタイプ
Wタイプ
RSタイプ
NSタイプ
40/70/120/170/220
270/320/370/420
10/40/70/120/170
220/270/320/370/420
40/70/120/170/220
270/320/370/420
10/40/70/120/170
220/270/320/370/420
有効長（A）
58A（有効長10A：片持ちタイプ）有効長＋26A（有効長40∼420A）
全長
有効長＋2A（有効長10A：片持ちタイプ）有効長＋10A（有効長70∼720A）
最大可動長
有効長10A ±0.06 μ m以下 170/220A ±0.35μm
（Nタイプのみ）
270∼370A ±0.50μm
40A ±0.08μm
420A ±0.65μm
70/120A ±0.20μm
420A ±0.44μm
有効長10A ±0.03 μ m以下 270A ±0.25μm
（NSタイプのみ）
320A ±0.34μm
40A ±0.04μm
370A ±0.39μm
70/120A ±0.10μm
420A ±0.44μm
170/220A ±0.10μm
精度
（20℃ にて）
±0.1 μ m（R/RSタイプのみ）
原点精度
原理的にありません。接続デテクタ分解能の２カウント以下とお考えください。
もどり誤差
原理的にありません。接続デテクタ分解能の１カウント以下とお考えください。
繰り返し精度
−0.7×10
−6
/℃
温度係数
半導体レーザ
光源
DHHSクラス１
放射パワー
回折格子走査式
検出方式
0.4/0.4/0.41/0.42/0.44/0.45/0.46/0.47/0.48
質量（O）
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