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精密ステージ

神津精機

Precision Stages

KOUZU

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

精密ポジショナー

精密ポジショナー（FPP-3-13）は高分解能を要求する光デバ
イス組立用調芯装置のために開発された駆動機構です。±
0.1dbの調芯操作にもスムーズに追従します。独自の内部構
造により、従来のマイクロメータでは困難だったサブミク
ロンの位置決めが可能となりました。

特許出願中

精密ポジショナー FPP03-13

高分解能・高精度の位置決めを実現。

操作性の良い大口径ハンドル

精密ポジショナー 組合わせステージ

精密ステージとの組合わせにより、従来のマイクロメー

タヘッドを越える高精度な送りを実現。

ステージ取付例

構造 

粗動部 

送りネジ方式

 

微動部 

送りネジ＆レバー

移動量 

粗動 

13

 

微動 

0.3

最少読取り 

微動 

0.5μm/1目盛

バックラッシュ 

微動 

1μm以下（単体）

感度 

微動 

0.05μm

軸方向負荷 

最大5

f以下

外観 

アルミに白色塗装仕上げ

移動量

定価

型 式

粗動13

 微動0.3

40,000

FPP03-13

仕 様

定価

型 式

□50アルミ

  86,000

XM05A-S3（1軸）

□70アルミ

  91,000

XM07A-S3（1軸）

□70鉄

116,000

XM07F-S3（1軸）

□100アルミ

  98,500

XM10A-S3（1軸）

□100鉄

116,500

XM10F-S3（1軸）

□50アルミ

172,000

YM05A-S3（2軸）

□70アルミ

182,000

YM07A-S3（2軸）

□100アルミ

197,000

YM10A-S3（2軸）

□70アルミ

121,500

ZM07A-S3

□70アルミ

250,000

ZM07A-C3C

□100アルミ

320,000

ZM10A-C3C

φ70アルミ

112,500

RM07A-B3

φ100アルミ

121,500

RM10A-B3

□50アルミ

125,000

ST05A-S3T

□50アルミ

125,000

ST05A-S3M

□50アルミ

250,000

ST05A-S3S

□70アルミ

121,000

ST07A-S3T

□70アルミ

121,000

ST07A-S3M

□70アルミ

242,000

ST07A-S3S

製品の一部抜粋です。詳しくはお問い合わせください。

位置決め

位置決め 手動ステージ

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