e-138

KOUZU

精密ステージ

神津精機!

Precision Stages

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

回転範囲

テーブル面

定価

形式

±174°、−84°

  φ49A

250,000

RA05A-W

±135°

  φ68A

290,000

RA07A-W

±140°

  φ98A

360,000

RA10A-W

±155°

φ140A

450,000

RA16A-W

±155°

φ176A

540,000

RA20A-W

±165°

φ274A

990,000

RA30A-W

¡

タンジェントバー方式により高分解能を実現。

¡

ボールネジ駆動により耐久性アップ。

移動範囲

テーブル面

定価

形式

±  7.5A

  □50A

320,000

YA05A-R1（2軸）

±10A

  □70A

380,000

YA07A-R1（2軸）

±12.5A

□100A

520,000

YA10A-R1（2軸）

±25A

160×124A

600,000

YA16A-R1（2軸）

¡

位置決め用としても使用可能な原点・ニア原点・リミットは

フォトセンサを採用。

¡

案内方式にリニアガイドを使用しロングストロークを実現。

移動範囲

テーブル面

定価

形式

  ±25A

  □50A

180,000

XA05A-L2（1軸）

  ±35A

  □70A

215,000

XA07A-L2（1軸）

  ±50A

□100A

260,000

XA10A-L2（1軸）

  ±50A

□160A

315,000

XA16A-L2（1軸）

±100A

□200A

395,000

XA20A-L2（1軸）

±150A

280×240A

567,000

XA30A-L2（1軸）

移動範囲

テーブル面

定価

形式

±3°

φ100A

360,000

RA10A-T

ステッピングモータ駆動精密Xステージ

ステッピングモータ駆動精密 

θ ステージ

¡

独自の高精度ウォームギアにより秒単位の角度再現性に
対応。

¡

アンギュラベアリング採用により高耐荷重を実現。

ステッピングモータ駆動精密 

θ ステージ

¡

独自の精密クロスローラガイドにより高剛性・優れた直
進性を実現。

¡

送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。

ステッピングモータ駆動精密XYステージ

案内方式
繰返し位置決め精度
真直度
最高速度
水平耐荷重
材質

リニアガイド
±0.5μC
2μC以内／70A
5A／sec
7O 

外観 白色仕上げ

アルミ合金 

自重 1.3O

案内方式
送り方式
角度再現性
最高速度
水平耐荷重
材質
外観

ベアリング
ウォーム＆ウォームホイール
0.01°以内
20°／sec
10O
アルミ合金
白色仕上げ 

自重 2.9O

案内方式
送り方式
角度再現性
最高速度
水平耐荷重
材質
外観
自重

ベアリング
ダンジェントバー式
0.005°以内
2.56°／sec
10O
アルミ合金
白色仕上げ
3.2O

¡

位置決め用としても使用可能な原点・ニア原点・リミッ
トはフォトセンサを採用。

案内方式
繰返し位置決め精度
直交度
真直度
最高速度
水平耐荷重
材質

精密クロスローラガイド
±0.5μC
5μC以内／20A
1μC以内／20A
5A／sec
9O 

外観 白色仕上げ

アルミ合金 

自重 1.7O

XA07A-L2

RA10A-T

RA10A-W

YA07A-R2

位置決め 手動ステージ

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