-130

位置決めステージ

駿河精機

Positioning Stages

SURGA

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

⑤付属ケーブル仕様

③リミット位置仕様

型式説明
     K112 - □  □  □  □  -  □

■直動ステージリニアK112形仕様、定価

K112-600

K112-400

K112-300

K112-200

K112-100

型  式

500,000

440,000

380,000

350,000

330,000

定  価

600

400

300

200

100

移動量（

）

180×180

ステージ面（

）

ボールネジφ16リード5・リニアガイド

送りネジ・ガイド

アルミ−黒アルマイト処理

ステージ材質

30kgf【294N】

耐荷重

15.1

12.7

11.5

10.1

9.0

質量（kg）

10μm/パルス（フルステップ）5μm/パルス（ハーフステップ）

分解能

30mm/sec［3kHz］

MAXスピード

50μm以内

40μm以内

30μm以内

20μm以内

15μm以内

位置決め精度

±1μm以内

繰り返し位置決め精度

5μm以内

ロストモーション

50μm以内

40μm以内

30μm以内

平行度

70"以内/30"以内

60"以内/30"以内

50"以内/20"以内

30"以内/20"以内

ピッチング/ヨーイング

5相ステッピングモーター 0.75A/相（オリエンタルモーター !）

モータータイプ

A4967-9215Ｋ（駿河精機管理型番）

モーター型式

D70-1-2

付属ケーブル

●

リミットスイッチ

●

原点センサー

●

近接原点センサー

フォトマイクロセンサ EE-SX67□（オムロン!）

センサー型式

① ② ③ ④

⑤

①ストローク（

）

200

200

100

100

勝手違い

R

通常

無記号

②センサーカバー位置仕様

④コネクター向き仕様

横向き

Y 

通常

無記号

2m

無記号

4m

2

片端バラ4m

3

可変

S

固定

無記号

②ストローク（

）

④コネクター向き仕様

型式説明
     K16  □  -  □  □  □  □

型式説明
    K102 - □  □  □  □  □  -  □

①

② ③ ④ ⑤

①ステージ面サイズ（

）

85

85

35

35

100

100

50

50

③センサーカバー位置仕様

勝手違い

R

通常

無記号

横向き

Y

通常

無記号

⑤付属ケーブル仕様

① ② ③ ④ ⑤

⑥

①ストローク（

）

60

60

30

30

②センサーカバー位置

④コネクター向き仕様

⑤ステッピングモータ仕様

⑥付属ケーブル

固定

無記号

可変（CW側）

Ｓ

③リミットSW位置仕様

4m

2

2m

無記号

なし

4

片端バラ

3

■直動ステージアウターレールK161形、K162形仕様、定価

K162-200

K162-100

K162-50

K161-85

K161-35

型  式

218,000

185,000

160,000

150,000

142,000

定  価

200

100

50

85

35

移動量

60

×60

40

×40

ステージ面

ボールネジφ8リード2

ボールネジφ6リード1

送りネジ・ガイド

本体：鉄−黒染め処理 テーブル：アルミ−黒アルマイト処理

ステージ材質

10.0kgf【98N】

8.0kgf【78.4N】

耐荷重

2.1

1.5

1.2

0.78

0.65

質量(kg)

4μm/パルス（フル） 2μm/パルス（ハーフ）

2μm/パルス（フル） 1μm/パルス（ハーフ）

分解能

20

/sec［5kHz］

20

/sec［10kHz］

MAXスピード

30μm以内

位置決め精度

±3μm以内

繰り返し位置決め精度

3μm以内

ロストモーション

―

ピッチング/ヨーイング

5相ステッピングモーター 0.75A/相

5相ステッピングモーター 0.75A/相

モータータイプ

PMM33BH2-C26

TS3664N4

モーター型式

D70-2-2

付属ケーブル

●

リミットスイッチ

●

原点センサー

―

近接原点センサー

フォトマイクロセンサ PM-U24（サンクス!）

センサー型式

■直動ステージクロスローラー K120形仕様、定価

K102-100

K102-60

K102-30

型  式

240,000

230,000

210,000

定  価

100

70

30

移動量

80

×160

80

×130

80

×80

ステージ面

ボールネジφ8リード1・クロスローラーガイド

送りネジ・ガイド

アルミ−黒アルマイト処理

ステージ材質

20kgf【196N】

耐荷重

2.1

1.8

1.4

質量（kg）

1μm/パルス（フルステップ）  0.5μm/パルス（ハーフステップ）

0.05μm/パルス（マイクロステップ1/20）

（MSタイプのコントローラ使用時）

分解能

10

/sec［10kHz］

MAXスピード

10μm以内

5μm以内

位置決め精度

±0.3μm以内

繰り返し位置決め精度

1μm以内

ロストモーション

15μm以内

10μm以内

平行度

―

垂直度

25"以内/20"以内

25"以内/15"以内

ピッチング/ヨーイング

5相ステッピングモーター 0.75A/相（オリエンタルモーター !）

モータータイプ

C7214-9015（駿河精機管理型番）

モーター型式

D70-1-2

付属ケーブル

●

リミットスイッチ

●

原点センサー

●

近接原点センサー

フォトマイクロセンサ EE-SX673（オムロン!）

センサー型式

ハーモニック

A

通常

無記号

横向き

Y

通常

無記号

勝手違い

R

通常

無記号

□60

2

□40

1

自動ステージ 位置決めテーブル

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