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位置決めステージ
駿河精機
Positioning Stages
SURGA
ロ
ボ
ッ
ト
・
F
A
機
器
■水平面Z軸ステージK332形仕様、定価
K332-50
K332-12
K332-8N
K332-4
型 式
398,000
360,000
300,000
220,000
定 価
50
12
8
4
移動量（
）
120×160
120×120
80×100
60×60
ステージ面（
）
ボールネジφ8リード1
ボールネジφ6リード1
精密ネジM6P=1
送りネジ
くさび方式 リニアガイド
くさび方式 クロスローラーガイド
アウターレール
ガイド
アルミ−黒アルマイト処理
ステージ材質
20kgf【196N】
3kgf【29.4N】
耐荷重
7.2
3.6
2.0
0.45
質量(kg)
1μm/パルス（フル）
0.5μm/パルス（ハーフ）
≒0.73μm/パルス（フル）
≒0.37μm/パルス（ハーフ）
1μm/パルス（フル）
0.5μm/パルス（ハーフ）
分解能
5mm/sec［5kHz］
≒3.7mm/sec［5kHz］
4mm/sec［4kHz］
MAXスピード
―
―
位置決め精度
±3μm以内
±0.5μm以内
±3μm以内
繰り返し位置決め精度
5μm以内
1μm以内
10μm以内
ロストモーション
0.05mm以内
50μm以内
―
平行度
5相モーター 0.75/相
5相ステッピングモーター 0.75A/相
モータータイプ
TS3624N21E1
PK544-NB-C16（駿河精機管理型番）
PMM33BH2-C26（駿河精機管理型番）
モーター型式
D70-2-2
付属ケーブル
●
●
リミットスイッチ
●
―
原点センサー
―
―
近接原点センサー
PM-L24（サンクス）
EE-SX671（オムロン）
EE-SX1103（オムロン）
センサー型式
■回転ステージK401形、K402形仕様、定価
K402-60
K401-60
K401-40
型 式
182,000
120,000
120,000
定 価
300゜
360゜
移動量
φ59
φ39
ステージ面（
）
特殊傘歯車（減速比1/90）
ウォームギア（減速比1/180）
ウォームギア（減速比1/20）
移動機構
アルミ−黒アルマイト処理
ステージ材質
8.0kgf【78.4N】
3.0kgf【29.4N】
耐荷重
0.6
0.6
0.4
質量（kg）
0.008゜/パルス（フル）
0.004゜/パルス（ハーフ）
0.004゜/パルス（フル）
0.002゜/パルス（ハーフ）
0.006゜/パルス（フル）
0.003゜/パルス（ハーフ）
分解能
40゜/sec［5kHz］
20゜/sec［5kHz］
30゜/sec［5kHz］
MAXスピード
0.1゜以内
0.05゜以内
位置決め精度
±0.01゜以内
繰り返し位置決め精度
0.05゜以内
ロストモーション
0.05゜以内
0.1゜以内
バックラッシュ
5相ステッピングモーター 0.75A/相（オリエンタルモーター !）
モータータイプ
PMM33BH2-C26
PMM33BH2-C16
モーター型式
D70-2-2
付属ケーブル
●
―
リミットスイッチ
―
●
原点センサー
―
―
近接原点センサー
EE-SX1103（オムロン）
EE-SX1101（オムロン）
センサー型式
型式説明
K33 □ - □ - □ □
①
②
③ ④
①ガイドタイプ
クロスローラタイプ
1
高剛性タイプ
2
8
8N
4
4
12
12
6
6
②ストローク（
）
③付属ケーブル仕様
2m
無記号
4m
2
片端バラ4m
3
なし（コネクタのみ）
4
④付属基板仕様
型式説明
K4 □ 1 - □ - □ □
①
②
③ ④
①取付タイプ
水平取付タイプ
0
垂直取付タイプ
3
φ60
60
φ39
40
②ステージ面サイズ（
）
③付属ケーブル仕様
2m
無記号
4m
2
片端バラ4m
3
④付属基板仕様
型式説明
K50 1 - 40 □ □
①
②
①ガイドタイプ
クロスローラタイプ
1
60×60
60
40×40
40
②ストローク（
）
■ゴニオステージK501-40（1軸）形、K501-60（1軸）形仕様、定価
K501-60TL
K501-60WL
K501-60L
K501-60U
K501-40L
K501-40U
型 式
210,000
210,000
210,000
210,000
180,000
180,000
定 価
±5°
±8°
±10°
±6°
±8°
移動量
60×60
40×40
ステージ面
25±0.2
20±0.2
ステージ高さ
125±0.2
100±0.2
75±0.2
50±0.2
60±0.2
40±0.2
回転中心高さ
0.01
以内
回転中心振れ精度
減速比1/360
減速比1/292
減速比1/225
減速比1/160
ウォーム＆ウォームホイール
移動機構（ウォームギア）
クロスローラーガイド
ガイド
アルミ−黒アルマイト処理
ステージ材質
5kgf【49N】
3kgf【29.4N】
耐荷重
0.5
0.4
質量（kg）
0.0020°
0.0025°
0.0032°
0.0045°
0.003°
、0.0015°
/（ハーフ）
分解能（フルステップ）パルス
10°
/sec
［5kHz］
12.5°
/sec
［5kHz］
16°
/sec
［5kHz］
22.5°
/sec
［5kHz］
15°
/sec
［5kHz］
MAXスピード
±0.005°
以内
±0.003°
以内
±0.005°
以内
繰り返し位置決め精度
0.01°
以内
ロストモーション
5相ステッピングモーター 0.75A/相（オリエンタルモーター !）
モータータイプ
PMM33BH2-C-16（駿河精機管理型番）付属ケーブルD70-2-2
モーター型式
●
●
リミットスイッチ
●
―
原点センサー
フォトマイクロセンサ EE-SX1101（オムロン!）
センサー型式
自動ステージ 割出ステージ
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