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位置決めステージ
駿河精機
Positioning Stages
SURGA
ロ
ボ
ッ
ト
・
F
A
機
器
注）B280-60C-Tはここに掲載しておりません。
B250-40C-1
B260-40C-2
B270-40C-L
B280-40C-L
構成
B280-40C-W
B280-40C-L
B270-40C-W
B270-40C-L
B260-40C-2
B260-40C-1
B250-40C-2
B250-40C-1
型 式
B59-40W/1-147
B59-40/1-147
B59-40W/1-147
B59-40/1-147
B55-40-2/1-142
B55-40/1-142
B55-40-2/1-142
B55-40/1-142
θxθy
B76-40C/1-095
B76-40C/1-095
B72-40C/1-095
B72-40C/1-095
B76-40C/1-097
B76-40C/1-097
B72-40C/1-095
B72-40C/1-095
XYZ
■XYZ、
θ x θ y軸ステージユニットB250形、B260形、B270形、B280形仕様、定価
B280-40C-W
B280-40C-L
B270-40C-W
B270-40C-L
B260-40C-2
B260-40C-1
B250-40C-2
B250-40C-1
型 式
290,000
290,000
288,000
288,000
190,000
190,000
188,000
188,000
定 価
□40
ステージ面（
）
80
25
60
40
25
40
25
40
回転中心高さ（
）
θ：±7゜/±5゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±5゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±7゜/±5゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±20゜/±15゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±15゜/±10゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±20゜/±15゜
XY：±6.5 Z±3.0
θ：±15゜/±10゜
XY：±6.5 Z±3.0
移動量（
）
0.7kgf【6.8N】
0.7kgf【6.8N】
0.5kgf【4.9N】
0.5kgf【4.9N】
0.5kgf【4.9N】
0.4kgf【3.9N】
0.3kgf【2.9N】
0.2kgf【1.9N】
耐荷重
B250-60C-1
B260-60C-2
B270-60C-L
B280-60C-L
構成
■ステージユニットB250形、
B260形、
B270形、
B280形仕様、
定価
B280-60C-W
B280-60C-L
B270-60C-T
B270-60C-W
B270-60C-L
B260-60C-2
B260-60C-1
B250-60C-2
B250-60C-1
型 式
297,000
297,000
295,000
295,000
295,000
217,000
217,000
215,000
215,000
定 価
□60
ステージ面（
）
75
50
100
75
50
35
60
35
60
回転中心高さ（
）
±4°/±3°
±5°/±4°
±3°/±2.5°
±4°/±3°
±5°/±4°
±25°/±20°
±20゜/±15゜
±25°/±20°
±20゜/±15゜
θxθy
移動量
XY：±6.5 Z：±3.0
XYZ（
）
1.4kgf【13.7N】
1.4kgf【13.7N】
1.4kgf【13.7N】
1.4kgf【13.7N】
1.4kgf【13.7N】
0.7kgf【6.8N】
0.8kgf【7.8N】
0.7kgf【6.8N】
0.8kgf【7.8N】
耐荷重
B280-60C-W
B280-60C-L
B270-60C-T
B270-60C-W
B270-60C-L
B260-60C-2
B260-60C-1
B250-60C-2
B250-60C-1
型 式
B59--60W/1-147
B59-60/1-147
B59-60T/1-147
B59-60W/1-147
B59-60/1-147
B55-60-2/1-141
B55-60/1-141
B55-60-2/1-141
B55-60/1-141
θ
B76-60C/1-097
B76-60C/1-097
B72-60C/1-095
B72-60C/1-095
B72-60C/1-095
B76-60C/1-097
B76-60C/1-097
B72-60C/1-095
B72-60C/1-095
XYZ
K101-15
K101-20MS
■直動ステージ
（クロスローラー）
K101形仕様、定価
K101-20MS
K101-20
K101-15
型 式
120,000
120,000
120,000
定 価
20
20
15
移動量（
）
60×60
60×60
40×40
ステージ面（
）
ボールねじφ8 リード：1
ボールねじφ8 リード：1
ボールねじφ6 リード：1
送りねじ・ガイド
5.0kgf【49N】
5.0kgf【49N】
5.0kgf【49N】
耐荷重
0.63
0.44
0.31
質量（kg）
1μm/0.5μm
2μm/パルス
（フルステップ）1μm/パルス
（ハーフステップ）
分解能
10(10KHz)
20(10KHz)
10(5KHz)
MAXスピード
/sec
5μm以内
5μm以内
10μm以内
位置決め精度
±0.3μm以内
±0.3μm以内
±0.5μm以内
繰り返し位置決め精度
1μm以内
ロストモーション
20"以内/15"以内
20"以内/15"以内
25"以内/20"以内
ピッチング/ヨーイング
5相ステッピングモーター 0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
モータータイプ
C7214-9015
（駿河管理型番）
PMM33BH2-C16
（駿河精機管理型番）
モーター型式
D70-2-2
付属ケーブル
●
●
●
リミットスイッチ
●
●
●
原点センサー
―
―
―
近接原点センサー
フォトマイクロセンサ EE-SX1101
（オムロン㈱）
センサー型式
アルミ−黒アルマイト処理
ステージ材質
手動ステージ 自動ステージ スイベルステージ
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