e-115
リニアアクチュエータ
横河エム・エー・ティー !
Linear Actuators
YOKOM
ロ
ボ
ッ
ト
・
F
A
機
器
ナノステージは、可動部内に半導体レーザ干渉計を組込ん
でいるので、同一XY平面上を自由自在に移動し、ナノオー
ダの位置決めが可能です。
可動部内に組込まれた３軸レーザ干渉計と３軸モータ巻
線の組合せによるアクティブ・ヨー・コントロール（XYθ非
干渉制御）が可能です。
ナノステージ・PLANESEPV
■標準仕様および価格
■マイクロステージDDステージの仕様
注）上記の価格の他に石定盤や除振台が必要です。
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フルクローズド制御による高精度位置決め
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独自の位置決め検出用エンコーダ及び制御による滑ら
かな駆動
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豊富な機種（高精度、高剛性、高速、高速高剛性形）とX、
Y軸のストローク長の選択が可能
SMシリーズ
製品形名
300N
150N
推力
10,400,000
9,000,000
□500Aプラテン
価格
12,400,000
11,000,000
□700Aプラテン
0.5m/s
最大速度
15N
4N
許容回転トルク
40kg以下
20kg以下
負荷
100kg
50kg
センタ押付力
400N/μm
200N/μm
空気荷重軸受剛性
400×400A以下
500×500A以下
スライダ可動範囲
±1μm（JIS00級石定盤設置時）
XY平面分割精度
±0.1μm
繰り返し精度
AC100V
電源
150VA（ドライバ部）/40VA（レーザヘッド部）
消費電力
DD STAGEは ダ イ レ ク ト ド ラ イ ブ 方 式 の リ ニ ア ア ク
チュエータLMシリーズと、ロータリアクチュエータDMシ
リーズを組合わせたX-Y- θステージです。
DD STAGEはマルチスライダ化が可能ですので、コンパ
クトな多軸ステージを構成することができます。
マイクロステージDD STAGE
0.05、0.25及び0.5μm
エンコーダ分解能
10μm
直交度
±20μm
平行度
±0.1μm（X、Y軸）
再現精度
∼400Nまで
推力
∼700A（X軸）∼400A（Y軸）
標準ストローク長
2.0m/s
最大速度
都度見積
価格（専用ドライバ含）
注）上記以上のストロークはお問い合せ下さい。
空気軸交と独自の磁杢ポテンションセンサを用い、アブソ
リュート位置決めが可能な新しいタイプのリニアアクチュエータ
で、精密なピック＆プレーズ装置のZ軸部にご使用できます。
小形アブソリュートリニアモータ・DYNASTROKE
注）上記以上のストロークはお問い合せ下さい。
10μm
分解能
±10μm
再現精度
15N∼45N
推力
30、50、100A
標準ストローク長（＊）
最大速度0.7m/s
最大速度
都度見積
価格（専用ドライバ含）
■標準仕様
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YOKOGAWA独自の磁杢ポテンションセンサによりアブ
ソリュートに位置を検出します。
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可動部が空気浮上しているため摺動摩擦がなく、高寿命
かつコンタミレスです。
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位置決め機能を内蔵しており、PLCからの簡易設定で多
点位置決めが可能です。
位置決めステージ
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