e-114

ガイド付リニアモータ

横河エム・エー・ティー !

Guided Linear Motors

YOKOM

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

静止保持力（N）

仕様

ストローク

静止保持力（N）

仕様

ストローク

300N・m

100N・m

50N・m

300N・m

100N・m

50N・m

840,000

672,000

632,000

N

800A

700,000

532,000

496,000

D

50A

872,000

700,000

664,000

P

900A

720,000

552,000

504,000

E

100A

896,000

728,000

688,000

Q

1000A

728,000

560,000

520,000

F

150A

892,000

756,000

720,000

R

1100A

744,000

576,000

532,000

G

200A

968,000

800,000

756,000

S

1200A

756,000

588,000

552,000

H

300A

1,008,000

840,000

800,000

T

1300A

776,000

608,000

560,000

J

400A

1,056,000

888,000

840,000

U

1400A

784,000

616,000

576,000

K

500A

1,096,000

924,000

888,000

V

1500A

800,000

632,000

588,000

L

600A

816,000

644,000

608,000

M

700A

高剛性

2

標準

1

高速

5

高剛性高速

3

100Nシリーズ

10

50Nシリーズ

05

400Nシリーズ

40

300Nシリーズ

30

②静止保持力

①モータ分類

④ストローク長（A）

①ドライバ分類

②静止保持力

高剛性

2

標準

1

高速

5

高剛性高速

3

100Nシリーズ

10

50Nシリーズ

05

400Nシリーズ

40

300Nシリーズ

30

150

F

100

E

50

D

400

J

300

H

200

G

700

M

600

L

500

K

1000

Q

900

P

800

N

標準

O

B

ベース部レイデント処理

アルミ部ブラックアルマイト処理
ベース部レイデント処理のみ

L

¡

リニアサーブはダイナサーブと同じDD（ダイレクト・ド
ライブ）方式のリニアモータです。

 独自のガラスおよび金属スケールを用いた内挿形リニア

エンコーダを内蔵したことにより、フルクローズド高精
度位置決め制御と滑らかな駆動を実現しました。

¡

絶対精度：10μm以下（スケール長1800Aまで）

 再現精度：0.1／0.5／1.0μm、推力：7G低振動
 速度リップル：1％複数スライダ個別位置決め等が可能です。

リニアサーブ

（リニアモータドライブ）

■応用例

（X-YおよびX-Y- θ ステージ）

■リニアサーブ標準品価格

（ドライバ200V用を含む）

■参考価格例

（X-YおよびX-Y- θ ステージ）

■環境仕様

組合せリニア仕様 静止保持力（N）

X-Y- θ ステージ価格

X-Yステージ価格

X-Yストローク

（A）

X軸下（100N）Y軸上（50N）

1,864,000

1,488,000

300×100

X軸下（100N）Y軸上（100N）

2,336,000

1,696,000

300×100

X軸下（300N）Y軸上（300N）

2,008,000

1,968,000

400×200

ドライバ部

モータ部

動作時

0∼50℃

0∼45℃

周囲温度

20∼90％RH

20∼85％RH

周囲湿度

腐食性ガス・腐埃なきこと

雰囲気

注）X-Y- θ ステージ価格 θ=DMIB004を搭載

※結露なきこと

¡

モータ部形式表示

    LM  □  □□  □ 0 □ 0 □  - 0 □ □ □

①

②

③

④

⑤

⑥ ⑦ ⑧

¡

ドライバ部形式表示

    TM  □  □□ 0104 □  -  □ □ □

①

②

③

④ ⑤ ⑥

⑥表面処理

③スライダ数 0：なし

（1∼6）

⑤エンコーダスケール

ガラス

G

金属

M

③環境分類（μm）0：1、1：0.1、5：0.5
⑦センサ取付位置

④電圧（V）

⑤インタフェイス

⑥機械共振フィルタ

⑧ケーブル方向

内側（B接）

Q

センサなし

0

内側（A接）

S

外側（B接）

R

外側（A接）

T

200-230

2

100-115

1

左出し

4

右出し

2

ノッチフィルタ付

N

なし

0

差動高速

T

シリアルパレス

S

コレクタ低速

V

コレクタ高速

U

注1）高剛性形加算額80,000円、高速形加算額40,000円、高速・高剛性形加算額120,000円
 ２）ストローク長は50A∼3000Aまで対応可能です。300Nシリーズは標準形、高速形のみです。

位置決め リニアアクチュエータ リニアサーボ

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