直動アクチュエータ

Linear Motion Actuations

NSK

日本精工!

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

e-113

¡

ガイド部材を高精度に加工することによりサブミクロンの真直
度を実現します。

¡

空気軸受けとして理想的な多孔質絞りを採用し、コンパクトで高
剛性、低消費量を実現します。

¡

構造部材をセラミックにすることにより
長期間、高精度が維持できます。

¡

空気膜により非接触に支持され摺切抵抗
が極めて少なく運動精度が向上します。

¡

乾燥した空気で潤滑されるため、潤滑油の
ように周囲を汚染せず高クリーン対応が
可能。

エアスライド

特殊対応品

寸法図

■A型エアスライド寸法

 

単位：A

レール寸法

ベース取付寸法

テーブル取付寸法

テーブル寸法

呼び番号

R

h

R

w

P

P

b

P

a

D

2

D

e

D

d

D

c

D

1

D

b

D

a

L

1

L

H

T

b

T

a

ストローク

30

35

M6用穴

 50

  135

2-M4

30

−

38

4-M4

35

50

23.5

  155

  61

  70

  75

  25

GLS35A75/25 

  160

  180

  50

50 

  210

  230

100

100

30

35

M6用穴

 50

  170

3-M4

30

−

36

6-M4

35

45

23.5

  190

  61

  70

110

  25

GLS35A110/25 

  195

  215

  50

50 

  245

  265

100

100

50

50

M8用穴

 70

  185

4-M4

30

30

80

6-M5

50

40

28.5

  215

  91

  95

125

  25

GLS50A125/25 

  210

  240

  50

50 

  260

  290

100

100

  365

  395

200

200

  465

  495

300

300

  565

  595

400

400

  665

  695

500

500

50

50

M8用穴

 70

  415

6-M4

30

30

60

6-M5

50

75

28.5

  445

  91

  95

175

200

GLS50A175/200

  515

  545

300

300

  615

  645

400

400

  715

  745

500

500

80

80

M10用穴

110

  465

6-M5

40

50

50

6-M6

80

60

28.5

  495

131

140

175

250

GLS80A175/250

  715

  745

500

500

  815

  845

600

600

  915

  945

700

700

1015

1045

800

800

■A形エアスライド仕様 

給気圧力：0.4MPa

可動体質量

O

軸受空気消費

流量L/min

（Normal）

真直度

軸受負荷容量

軸受剛性

呼び番号

μm/100A

N

N/μm

水平

垂直

水平

垂直

水平

垂直

1

.0

  5

0.2

0.3

  70

100

  70

100

GLS35A75

1.5

  7

0.2

0.3

110

150

110

150

GLS35A110

2.7

  8

0.3

0.3

200

250

200

250

GLS50A125

5

.0

12

0.3

0.3

280

350

280

350

GLS50A175

7.5

25

0.3

0.3

470

570

470

570

GLS80A175

注1）軸受剛性は、空気軸受部のみの値を示し、ガイド部の弾性変形を考慮した値ではありません。

注2）真直度は無負荷時の値を示します。搭載質量に比例して値は大きくなります。

注3）可動体質量はアルミナセラミックス材の場合の値です。

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