THK Precision XY Stages

電動アクチュエータ 位置決めテーブル テーエチケー

THK 精密XYステージ

THK㈱

THK

ロ
ボ
ッ
ト
・

F
A

機
器

e-90

精密XYステージ

¡

高精度
精密XYステージAX形は精密研削された断面高さの低い
SR形を使用した多重拘束構造による高精度案内が得ら
れます。

¡

長精度寿命
案内部は信頼性にすぐれたLMガイドを使用し、長期間、
精度寿命が得られます。また送りねじは精密ボールね
じを使用し、あそびのない正確な位置決め送りのでき
るステージです。

¡

ビルトアップタイプ
従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく一軸
ステージの組み合せでストロークが自由に選択可能と
なります。

¡

用途に合わせてステージ精度の選択可能
リニアスケールの取付が容易にできる構造です。

一軸ステージ

XYステージ

■AX形一軸ステージ仕様・精度

■AX形XYステージ仕様・精度

呼び番号

A05
A10
A15
A20
A25
A30

A40
A50

ストローク

（㎜）

50

100
150
200
250
300

400
500

搭載荷重

Ｎ（㎏）

300

（30）

1000

（100）

2500

（250）

ステージ

総質量
（㎏）

10
12.5
14.5
40.0
42.0
45.0

145.0
155.0

精度等級

P6
P5
P4
P6
P5
P4
P6
P5
P4

繰返し位置

決め精度

（㎜）

±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001
±0.003
±0.002
±0.001

位置決め精度

全ストローク

（㎜）

0.025
0.015
0.006
0.030
0.020
0.008
0.050
0.025
0.013

バックラッシュ

（㎜）

0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002
0.005
0.003
0.002

走り真直度Ａ

上下・左右

（㎜）

0.008
0.004
0.002
0.010
0.005
0.003
0.015
0.007
0.004

平行度Ａ

（㎜）

0.015
0.007
0.003
0.020
0.010
0.005
0.030
0.015
0.007

モータ分解能：ステッピングモータ：500p/ｒ（フルステップ）、1000p/ｒ（ハーフステップ）、ACサーボモータ：1000p/ｒ、2000p/ｒ、4000p/ｒ

呼び番号

AX0505

AX0510

AX0515

AX1010

AX1015

AX1515

AX2020

AX2025

AX2030

AX2525

AX2530

AX3030
AX4040

AX4050

AX5050

ストローク

（㎜）

50× 50
50×100
50×150

100×100
100×150
150×150

200×200
200×250
200×300
250×250
250×300
300×300

400×400
400×500
500×500

搭載荷重

Ｎ（㎏）

150

（15）

500

（50）

1000

（100）

ステージ

総質量
（㎏）

17.5
20.0
22.0
22.5
24.5
26.5

71.5
73.5
76.5
75.5
78.5
81.5

257
267
277

精度等級

P6
P5
P4

P6
P5
P4

P6
P5
P4

繰返し位置

決め精度

（㎜）

±0.003
±0.002
±0.001

±0.003
±0.002
±0.001

±0.003
±0.002
±0.001

位置決め精度

全ストローク

（㎜）

0.030
0.015
0.007

0.040
0.020
0.010

0.060
0.030
0.015

バックラッシュ

（㎜）

0.005
0.003
0.002

0.005
0.003
0.002

0.005
0.003
0.002

走り真直度Ａ

上下・左右

（㎜）

0.010
0.005
0.003

0.025
0.007
0.004

0.040
0.010
0.005

平行度Ａ

（㎜）

0.025
0.012
0.006

0.030
0.015
0.007

0.050
0.025
0.012

直角度Ａ

（㎜）

0.010
0.005
0.003

0.020
0.010
0.005

0.030
0.015
0.007

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