THK XY Stage Type EX
電動アクチュエータ 位置決めテーブル サーボアクチュエータ テーエチケー
THK XYステージEX形
THK㈱
THK
ロ
ボ
ッ
ト
・
F
A
機
器
e-89
ワイヤボンダ・TABボンダ用
XYステージEX形
¡
シンプルなXY構造・高剛性
信頼性の高いサーキュラーアーク溝を１ブロックに直交
させた、新型クロスLMガイドCSR形を使用することに
より、従来型XYステージのようにサドルを使用しない
構造となり、シンプルなXYステージとなっています。
又、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したス
テージに比べ高剛性です。
¡
あそびのない連結機構
Ｘ軸の駆動部は直動案内のLMガイドと駆動用ボールね
じを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なLMガイ
ドアクチュエータKR形を一軸で使用しており、トップ
テーブルとの連結はHSR形で適正予圧を与えていますの
であそびのない構造です。
¡
呼び番号の構成
ＥＸ 0505 Ａ
Ｙ
呼び形番
① ② 特殊仕様
① ストローク 0505:50×50mm ストローク 0808:75×75
② モータ記号 Ａ：モータなし
（標準） Ｂ：モータドライバ付
¡
すぐれた高速応答性
クロスLMガイドCSR形を使用した構造により、中間サ
ドルが削除され、さらに２軸のモータとも固定する特殊
な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで
軽量化し、Ｘ・Ｙ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応
答性を可能としました。
（モータ軸換算負荷GD
2
）
EX0505：Ｘ軸0.103kg・cm
2
Ｙ軸0.109kg・cm
2
EX0808：Ｘ軸0.115kg・cm
2
Ｙ軸0.121kg・cm
2
■EX形の仕様
呼び形番
仕様
EX0505
EX0808
ス ト ロ ー ク
（mm）
50×50
75×75
繰り返し位置決め
精度 （mm）
±0.001
±0.001
位 置 決 め 精 度
（mm）
0.005
0.008
走 り 真 直 度
（mm）
0.004
0.005
直
角
度
（mm）
0.005
0.005
¡
クロスLMガイドCSR形
■XYステージEX形の寸法
単位
（mm）
呼び形番
ストローク
（mm）
EX0505
EX0808
50×50
75×75
ベース寸法
全 長
トップテーブル寸法
ベース
取付け穴寸法
トップテーブル
取付け穴寸法
Ｌ
Ｗ
Ｗ
1
LX
LX
1
LX
2
LY
WX
WY
WX
1
WY
1
BX
BY
dx
1
dx
2
dy
1
dy
2
300
320
187
213
93.5
106.5
389
428
367
393
22
35
198.5
224.5
192
218
125
125
125
125
31
44
140
150
167
193
12.5
12.5
17.5
17.5
27.5
27.5
12.5
12.5
寸法図
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