e-86

THK X・Y・θステージ

THK XYθ Stages

THK

THK!

ロ
ボ
ッ
ト
・

F

A

機
器

■アライメントステージCMX形の構造

独自の平面配置構造による超薄型XYθステージ
¡

ステージサイズ1500A×1500Aまでの大型ステージを
標準化、モジュール数を必要数配置することで更なる大
型化への対応も可能です。

¡

XY θモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽
い機構を実現しました。

¡

ステージ、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式
検査装置や導通テスターとしての使用が可能。

¡

モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロス
ローラーリングにはプリロードを与えてあり、高精度で
剛性の高い構造です。

アライメントステージCMX

■動作原理

電動アクチュエータ 位置決めステージ テーエチケー

X1、X2、Yの3軸の動きの組合せにより、多種ステージ運動が可能

ステージ中心回転

■CMX形アライメントステージの仕様

本体質量

（O）

搭載質量

（O）

平行度

（μm）

繰り返し位置

決め精度

（μm）

最小

分解能

（μm）

ボールねじ

リード

（A）

エンコーダ

分解能

（P/R）

ドライバ

形式

モータ

形式

トップテーブル

サイズ

（A）

呼び形番

    18

  20

  30

±1

0.12

1

2048

（安川）SGDF

A2CP（20W）

（安川）SGMM

A2C312（20W）

  250×  250

025

CMX1

    23

  40

  350×  350

035

    37

  50

  50

0.24

2

（安川）SGDA01

BP（100W）

（安川）SGM01

B312（100W）

  400×  400

040

CMX2

    44

  80

  500×  500

050

    63

180

  750×  750

075

  600

150

300

0.49

4

（安川）SGDA02

BP（200W）

（安川）SGM02

B312（200W）

1000×1000

100

CMX3

1150

700

1500×1500

150

CMX1形

ステージ

ベース

呼び形番

C

A

D

W

E

B

L

60

160

  80

250

  80

160

350

CMX1-025

80

220

180

350

180

210

450

CMX1-035

■アライメントステージCMX1形寸法表

高さ

最大ストローク

呼び形番

H

3

H

2

H

1

H

23

44

23

90

10×10×6°

CMX1-025

10×10×4°

CMX1-035

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