e-84
THK リニアモータアクチュエータ
電動アクチュエータ 位置決めユニット 位置決めステージ リニアサーボ テーエチケー
THK Linear Motor Actuators
THK
THK!
ロ
ボ
ッ
ト
・
F
A
機
器
¡
高速 最高速度2∼4m/secが可能。
¡
高加減速 2Gが可能。
¡
低騒音 リニアモータとボールリテ−ナ入りLMガイドSSR形の
組合せにより、動作速度2m/sec時に約53dBの静粛性。
¡
マルチスライド 1軸のベース上に複数のスライダをセットし、
スライダを個々に制御可能。
¡
高精度 ダイレクトドライブ駆動、光学式リニアエンコーダによ
るフルクローズド制御のため、
ロストモーション・バックラッシュが
なく、高精度を実現。
¡
ロングストローク 最大長さGLM10形：1960A 20形：4400A
リニアモータアクチュエータGLM
GLM形システム構成図（汎用ドライバSD仕様）
①組合せスライダ数
②ベース呼び番号
③モータ形式
Sタイプ：最大推力30N
S
Mタイプ：最大推力60N
M
④エンドプレート
標準エンドプレート付（両端）
EP
⑤カバー
カバー無し
N
アルミプレートカバー付
C
⑨磁極センサ
磁極センサ無し
N
磁極センサ有り
J
⑥精度/最小分解能
標準品/5μm（4逓倍）
NR
標準品/1μm（4逓倍）
NN
標準品/0.5μm（4逓倍）
NU
標準品/0.1μm（4逓倍）
NV
⑦センサ
センサ無し
N
近接センサ
K
⑧ケーブルベア
ケーブルベア無し
N
格本チェイン表
A
⑩設計番号N
¡
呼び番号の構成（汎用ドライバLSD形）
LSD M 4−P ※ ※ ※
① ② ③
④
⑤
①電源電圧
AC100V
M
単相AC200V
H
②モータ形式
モータ形式
Sタイプ．Mタイプ用
4
③指命方式
パルス列入力
P
アナログ入力
A
④GLM形番10：GLM10形
⑤未入力：I/O拡張ボード無し
I：I/O拡張ボード付
¡
呼び番号の構成
（GLM10形）
2 GLM10−099−S−EP−C−NN−K−N−N−N
①呼び番号 ②
③ ④ ⑤ ⑥
⑦ ⑧ ⑨ ⑩
■GLM20形リニアモータアクチュエータ仕様
Lタイプ
Mタイプ
Sタイプ
項目＼モータ形式
LSDM10
LSDH10
FSD20
LSDM6
LSDH6
FSD20
LSDM4
LSDH4
FSD12
適用サーボアンプ／ドライバ
885
993
1080
525
656
720
312
360
360
最大推力（N）
355
397
433
210
262
288
125
144
144
定格推力（N）
0.3
1.5
2.0
0.3
1.5
3.0
0.1
1.0
4.0
0.3
1.5
2.0
0.3
1.5
3.0
0.1
1.0
4.0
0.3
1.5
2.0
0.3
1.5
3.0
0.1
1.0
4.0
最高速度（m/sec）※1
0.1
0.5
1.0
0.1
0.5
1.0
0.1
1.0
4.0
0.1
0.5
1.0
0.1
0.5
1.0
0.1
1.0
4.0
0.1
0.5
1.0
0.1
0.5
1.0
0.1
1.0
4.0
分解能（μm） ※2
210
140
70
最大搭載質量（O）
±1.0
繰返し位置決め精度（μm）
35
20
10
想定質量（O）※4
※1 分解能によって最高速度は変わります。例：モータ形式SタイプサーボアンプFSD12 分解能4μ時→最高速度4.0m/sec
※2 サーボアンプFSD形のみ分解能の設定範囲内（0.1∼4.0μm）において任意に変更可能です。
※4 加速度2Gで動作可能な質量。ただし到達速度によっては推力/速度特性から変わることがあります。
■GLM10形リニアモータアクチュエータ仕様
Mタイプ
Sタイプ
項目＼モータ形式
LSDM4
LSDH4
LSDM4
LSDH4
適用ドライバ
60
30
最大推力（N）
20
10
定格推力（N）
0.3
1.5
2.0
2.0
0.3
1.5
3.0
4.0
0.3
1.5
2.0
2.0
0.3
1.5
3.0
4.0
最高速度（m/sec）※1
0.1
0.5
1.0
5.0
0.1
0.5
1.0
5.0
0.1
0.5
1.0
5.0
0.1
0.5
1.0
5.0
分解能（μm）
12
6
最大搭載質量（O）
±1.0
±5.0
±1.0
±5.0
±1.0
±5.0
±1.0
±5.0
繰返し位置決め精度（μm）
1.2
0.5
想定質量（O）※3
※1 分解能によって最高速度は変わります。例：モータ形式SタイプLSDH4 分解能5μ時→最高速度4.0m/sec
※3 加速度2Gで動作可能な質量。ただし到達速度によっては推力/速度特性から変わることがあります。
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