q-212
小型真空ポンプ
バキュームポンプ
Compact Vacuum Pumps
ULVAC
アルバック機工!
空
圧
・
油
圧
・
真
空
機
器
高真空ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（標準型・耐食仕様型）
¡
特長
①MVシリーズは、到達能力に優れた４段式ダイアフラム真空ポンプで８０Paを実現しました。
②MDシリーズは、到達能力に優れた３段式ダイアフラム真空ポンプで２６０Paを実現しました。
③MDシリーズは、耐食仕様も取り揃えています。
¡
用途
①広域型ターボ分子ポンプの補助ポンプ
②クライオポンプ排気系の粗引きポンプ
③レーザー・ガス循環・排気用
④CVD装置、真空乾燥装置
■MVシリーズ（四段式）、MDシリーズ（三段式）仕様および価格
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
O.D.φ×I.D.φ
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
15.0
315.0×235.0×188.0
KF16
1φ100V（50/60Hz）
8.0×10
Pa
50Hz 30L/min
60Hz 35L/min
507,500
※ MV-2
15.0
315.0×235.0×188.0
KF16
1φ100V（50/60Hz）
2.7×10
2
Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
461,400
※◎MD-4
16.0
315.0×241.0×185.0
11.0×6.0
1φ100V（50/60Hz）
2.7×10
2
Pa
50Hz 40L/min
60Hz 50L/min
632,700
※◎MD-4C（耐食型）
25.0
240.0×470.0×300.0
KF25
1φ100V（50/60Hz）
2.7×10
2
Pa
50Hz 100L/min
60Hz 120L/min
738,200
※ MD-8
25.0
240.0×470.0×300.0
KF25
1φ100V（50/60Hz）
2.7×10
2
Pa
50Hz 80L/min
60Hz 96L/min
1,199,600
※◎MD-8C（耐食型）
高真空ダイアフラム型ドライ真空ポンプ（標準型）
¡
特長
①コンパクトサイズ。
②DAUシリーズは、２００Paを達成した３段式ダイアフラム真空ポンプです。
③強制空冷式、過電流保護装置内蔵。
¡
用途
①真空乾燥装置
③各種分析装置
②レーザーガス循環、排気用 ④広域ターボ分子ポンプの補助ポンプ
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
O.D.φ×I.D.φ
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
19.0
198.0×375.0×189.0
21.0×16.0（PT
1
/
2
）
3φ200V（50/60Hz）
16.0×10
3
Pa
50Hz 150L/min
60Hz 165L/min
134,900
DSB-150
21.0
223.0×414.0×228.0
21.0×16.0（PT
1
/
2
）
3φ200V（50/60Hz）
16.0×10
3
Pa
50Hz 250L/min
60Hz 275L/min
149,000
DSB-250
26.0
223.0×489.0×228.0
27.0×21.0（PT
3
/
4
）
3φ200V（50/60Hz）
10.7×10
3
Pa
50Hz 450L/min
60Hz 495L/min
173,600
DSB-450
38.0
261.0×582.0×261.0
27.0×21.0（PT
3
/
4
）
3φ200V（50/60Hz）
10.7×10
3
Pa
50Hz 600L/min
60Hz 660L/min
234,800
DSB-600
■DSBシリーズ
（一段式）
仕様および価格
回転翼型オイルレス真空ポンプ（標準型・CE仕様）
¡
特長
①オイルフリー＝完全無給油で稼働。
④軽量・コンパクト＝小型・軽量・頑丈。
②高品質＝低騒音、低振動を追求。
⑤省エネタイプ＝省消費電力を実現。
③高信頼性＝効率のよい冷却方式と特殊
⑥安全設計＝CE仕様です。
カーボンベーンにより長寿命
¡
用途
①印刷機械
③電子部品実装装置 ⑤一般産業用機械
②各種包装機械
④製本機械
※：サーマルプロテクター
（内蔵） ◎：ガスバラスト付
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
O.D.φ×I.D.φ
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
24.0
190.0×437.0×310.0
KF-16
1φ100V（50/60Hz）
2.7×10
2
Pa
50Hz 100L/min
60Hz 110L/min
316,400
※DAU-100
■DAUシリーズ
（三段式）
仕様および価格
※：サーマルプロテクター（内蔵）
MV-2
DAU-100
DSBシリーズ
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