空
圧
・
油
圧
・
真
空
機
器
q-209
小型真空ポンプ
バキュームポンプ 乾式
Compact Vacuum Pumps
ULVAC
アルバック機工!
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
O.D.φ×I.D.φ
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
1.3
87.0×120.0×106.0
6.5× 3.0
1φ100V（50/60Hz）
33.3×10
3
Pa
50Hz 5L/min
60Hz 6L/min
25,200
※ △DA-5S
1.7
87.0×159.0×106.0
6.5× 3.0
1φ100V（50/60Hz）
8.0×10
3
Pa
50Hz 5L/min
60Hz 6L/min
30,500
※ △DA-5D
1.7
109.0×159.0×106.0
6.5× 3.0
1φ100V（50/60Hz）
33.3×10
3
Pa
50Hz 10L/min
60Hz 12L/min
33,100
※ △DA-10S
3.1
125.0×176.5×182.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
26.7×10
3
Pa
50Hz 12L/min
60Hz 15L/min
40,600
△DA-15S
3.8
125.0×203.0×182.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
6.7×10
3
Pa
50Hz 12L/min
60Hz 15L/min
52,800
△DA-15D
7.2
118.0×236.0×184.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
5.3×10
3
Pa
9.3×10
3
Pa
50Hz 20L/min
60Hz 24L/min
84,400
※◎ DA-20D
3.8
125.0×203.0×184.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
26.7×10
3
Pa
50Hz 24L/min
60Hz 30L/min
55,500
△DA-30S
11.8
212.0×278.0×245.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
6.7×10
3
Pa
50Hz 30L/min
60Hz 36L/min
87,200
※ DA-30D
7.2
128.0×236.0×184.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
20.0×10
3
Pa
22.6×10
3
Pa
50Hz 40L/min
60Hz 46L/min
92,400
※◎ DA-40S
11.8
212.0×278.0×245.0
9.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
22.7×10
3
Pa
50Hz 60L/min
60Hz 72L/min
95,000
※ DA-60S
19.0
160.0×347.0×238.0
14.0× 9.0
1φ100V（50/60Hz）
3.3×10
3
Pa
50Hz 60L/min
60Hz 72L/min
164,900
※○ DA-60D
19.0
162.0×347.0×238.0
14.0× 9.0
1φ100V（50/60Hz）
13.3×10
3
Pa
50Hz 120L/min
60Hz 144L/min
177,600
※○ DA-120S
30.0
189.0×411.0×303.5
16.0×12.0
1φ100V（50/60Hz）
3.3×10
3
Pa
50Hz 120L/min
60Hz 145L/min
224,300
※○ DA-120D
30.0
189.0×411.0×303.5
16.0×12.0
1φ100V（50/60Hz）
17.3×10
3
Pa
50Hz 240L/min
60Hz 260L/min
237,400
※○ DA-240S
30.0
180.0×411.0×285.0
16.0×12.0
1φ100V（50/60Hz）
3.3×10
3
Pa
50Hz 120L/min
60Hz 145L/min
224,300
※ DA-121D
30.0
180.0×411.0×285.0
16.0×12.0
1φ100V（50/60Hz）
16.0×10
3
Pa
50Hz 240L/min
60Hz 260L/min
237,400
※ DA-241S
※：サーマルプロテクター（内蔵） ○：アンローダーバルブ（内蔵） ◎：アンローダーバルブ（オプション） △：連続運転でご使用の場合はお問い合わせください
■DAシリーズ
（一段式、二段式）
仕様および価格
直結型油回転真空ポンプ
（耐食仕様型）
※：サーマルプロテクター（内蔵）
■GCDシリーズ
（二段式）
仕様および価格
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径及び
排気管径
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
14.1
165.5×423.0×222.7
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
237,400
※GCD-051X
25.4
170.0×493.0×241.1
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 135L/min
60Hz 162L/min
329,700
※GCD-136X
26.6
170.0×509.5×241.1
KF-25
3φ200V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 200L/min
60Hz 240L/min
388,900
※GCD-201X
26.6
170.0×541.5×241.1
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 200L/min
60Hz 240L/min
428,300
ダイアフラム型真空ポンプ
（標準型）
¡
特長
①クリーンな真空＝クリーンな真空が得られるダイアフラム型（ただし、半導体製造など
におけるクリーンルーム内での使用については使用条件を当社までご確認ください）。
②低音・低振動＝他の方式に比べ低音・低振動を実現。
¡
用途
①真空チャック、ウエハー吸着搬送、フィルム
吸着
②自動機械用、包装機械用、光学機械用
③真空ピンセット、医療機器用、印刷機械用
¡
特長①GCDシリーズは、GLDシリーズ（スーパーデラックスタイプ）の機能に特殊
表面処理（クリーンエス）を施した耐食性に優れた真空ポンプ。
②酸、アルカリ性溶剤はもちろんのこと、腐食性に富んだ四塩化炭素、塩酸、酢
酸などにも抜群の耐食性を発揮。
③オイルシールやOリングにフッ素ゴムを使用。
④油劣化の原因となる不純物を取除くオイルフィルトレーションの接続可能。
¡
用途①半導体製造装置
②濃縮器等化学機械
③製薬機器
④公害汚染処理関係の耐酸処理装置
GCD-201X
DA-20D
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