q-208
小型真空ポンプ
バキュームポンプ 乾式
Compact Vacuum Pumps
ULVAC
アルバック機工!
空
圧
・
油
圧
・
真
空
機
器
直結型油回転真空ポンプ
（標準型）
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
12.9
165.5×365.0×222.7
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
9.3Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
120,700
GLS-051（一段式）
13.9
165.5×399.0×222.7
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
129,400
GLD-051
24.7
170.0×475.0×241.1
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 100L/min
60Hz 120L/min
178,600
GLD-101
25.2
170.0×475.0×241.1
KF-25
1φ100V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 135L/min
60Hz 162L/min
194,500
GLD-136
25.6
170.0×491.5×241.1
KF-25
3φ200V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 165L/min
60Hz 200L/min
233,900
GLD-166
26.4
170.0×491.5×241.1
KF-25
3φ200V（50/60Hz）
ガスバラストバルブ閉6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ開6.7Pa
50Hz 200L/min
60Hz 240L/min
264,600
GLD-201
※：サーマルプロテクター（内蔵） ・CE仕様についてはお問い合わせください。
■GLS・GLDシリーズ仕様および価格
※
※
※
※
※
¡
特長
①小型軽量＝持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
②低音低振動＝精密工作仕上げのため極小です。
③取扱い簡易＝100V電源でどこでもすぐに使用可能。
④ベルトレス＝モーター直結のため装置への組込みが容易。
¡
用途
①理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
②真空排気装置、電子顕微鏡のバック
③真空蒸着装置、凍結乾燥機
④小型食品包装機、真空成形機
⑤半導体製造装置
⑥医療用機器全般
■Gシリーズ（一段式、二段式）
仕様および価格
質量
（O）
最大寸法
（W）×（L）×（H）
吸気管径
O.D.φ×I.D.φ
電源
到達圧力
排気速度（実効）
価格
型 式
2.5
80.0×199.0×158.0
12.0× 6.0
1φ100V（50/60Hz）
4.0×10
3
Pa
50Hz 5L/min
60Hz 6L/min
46,100
G-5
（一段式）
5.0
130.0×203.0×159.5
12.0× 6.0
1φ100V（50/60Hz）
6.7Pa
50Hz 5L/min
60Hz 6L/min
67,200
G-5DA （二段式）
5.5
130.0×228.0×165.0
18.0×14.0
1φ100V（50/60Hz）
1.3Pa
50Hz 10L/min
60Hz 12L/min
89,800
G-10DA （二段式）
7.5
140.0×255.5×215.0
8.0× 5.0
1φ100V（50/60Hz）
9.3×10Pa
50Hz 15L/min
60Hz 18L/min
70,000
G-15 （一段式）
8.5
156.0×288.0×199.5
18.0×14.0
1φ100V（50/60Hz）
9.3Pa
50Hz 20L/min
60Hz 24L/min
76,600
G-25SA （一段式）
9.0
156.0×299.5×199.5
18.0×14.0
1φ100V（50/60Hz）
1.3×10
−1
Pa
50Hz 20L/min
60Hz 24L/min
92,400
G-20DA （二段式）
11.0
156.0×344.5×199.5
18.0×14.0
1φ100V（50/60Hz）
9.3Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
88,800
G-50SA （一段式）
11.0
156.0×344.5×199.5
18.0×14.0
1φ100V（50/60Hz）
1.3×10
−1
Pa
50Hz 50L/min
60Hz 60L/min
108,300
G-50DA （二段式）
21.6
173.5×460.5×264.0
27.0×20.0
1φ100V（50/60Hz）
9.3Pa
50Hz 100L/min
60Hz 120L/min
137,100
G-100S （一段式）
22.4
173.5×460.5×264.0
27.0×20.0
1φ100V（50/60Hz）
6.7×10
−2
Pa
ガスバラストバルブ閉
6.7Pa
ガスバラストバルブ開
50Hz 100L/min
60Hz 120L/min
159,700
G-100D （二段式）
※
※
※
○
※
※
○
※
◎
☆
※：サーマルプロテクター（内蔵） ○：逆流防止機構付き ◎：ガスバラストバルブ付き ☆：CE仕様製作可（価格はお問い合わせください）
直結型油回転真空ポンプ（スーパーデラックスタイプ）
¡
特長
①GLDシリーズは、GVDシリーズ（スーパータイプ）を一新し、性
能、品質、信頼性をさらに向上させた油回転真空ポンプ。
②GVDシリーズのすべての機能に加え、メンテナンスの容易さ、低
振動、低騒音などを付加したスーパーデラックスタイプ。
¡
用途
①理化学実験用、分析機器用、レーザー
応用機器
②真空排気装置、電子顕微鏡のバック
③半導体製造装置、スパッタリング装置、
真空蒸着装置
④真空乾燥装置、凍結乾燥装置
G-20DA
GLD-136
※
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